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晶圆总报废?问题可能出在您的石墨件上!

来源:本站原创 点击:72 时间:2025-7-12
  

晶圆厂里,每一片晶圆都价值千金!但当异常报废率居高不下,良率目标屡屡失守时,您是否曾深挖过那些“不起眼”的石墨部件?

  • 微污染隐形杀手: 高温工艺中,劣质石墨件可能释放微量杂质(如金属离子、灰分),悄然污染腔体、沉积在晶圆表面,导致膜层缺陷、电性异常,最终沦为昂贵的废片!污染源隐蔽,排查难如大海捞针。

  • 性能飘忽不定: 石墨的纯度、密度、导热率、强度等关键参数若批次差异大,会直接影响工艺的重复性和稳定性。同一机台,换批石墨件后,工艺窗口就可能偏移,需要重新摸索参数,良率波动大,工程师疲于奔命。

  • 寿命短,更换频繁: 不耐高温氧化、抗热震性差、强度不足的石墨件,在严苛工艺下快速损耗、开裂甚至掉渣。不仅增加零件采购成本,更因频繁停机更换,吞噬宝贵的设备产能,延误生产计划。

核心解决方案:稳定可靠的石墨件=良率的基石
我们深知,高纯、高性能、高一致性的石墨件不是“耗材”,而是保障您良率与利润的关键一环:

  • 极致纯净,源头防污:

    • 采用顶级原料与特殊纯化工艺,确保超高纯度(灰分 < XX ppm,关键金属杂质 < XX ppb),从源头杜绝污染风险。

    • 严格洁净生产环境与包装,避免二次污染。

  • 性能卓越,稳定如一:

    • 精密控制石墨化度、密度、孔径结构,确保导热性、机械强度、抗热震性等关键性能参数高度一致且均衡

    • 严格的批次管控与追溯体系,保证不同批次产品性能稳定可靠,工艺窗口无需反复调整。

  • 经久耐用,降本增效:

    • 优化配方与工艺,显著提升高温抗氧化性抗热震疲劳性能

    • 强化关键部位(如卡盘、加热器)的结构强度与耐磨性大幅延长使用寿命,减少更换频次与停机时间。

价值升华:省下的废片钱,远超零件价!
选择我们的半导体级石墨件,您将收获:

  • 显著降低晶圆异常报废率: 减少因污染和工艺波动导致的损失,直接提升良率(Yield)和利润。

  • 提升工艺稳定性与重复性: 减少工艺调试时间,保障生产顺畅高效。

  • 降低综合拥有成本: 更长的使用寿命 = 更少的采购次数 + 更低的停机损失,总体成本更优。

  • 工程师省心,生产更可控: 稳定的部件性能,减少生产中的“意外”和排查精力。

别再让劣质石墨件吞噬您的利润! 选择真正可靠的合作伙伴,为您的良率保驾护航!

恒石精密

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